Principer och försiktighetsåtgärder av anti-statisk i renrum
Olyckor som orsakas av statisk elektricitet i ett renrum har följande aspekter:
1. Elektrostatisk elektrisk stöt orsakad av statisk elektricitet kan orsaka människors oro och rädsla, och kan orsaka sekundär skada (till exempel, en person faller på grund av elektriska stötar, och skadas av att falla); 2. Urladdningsström som orsakas av elektrostatisk urladdning kan vara Leda till skador och skador på halvledarkomponenter. Till exempel, om 50 P-MOS-kretsar placeras i en plastpåse och skakas flera gånger, kommer 39 stycken att brytas ned allvarligt, med en felfrekvens på 78%. Detta beror på att halvledarenheter Mycket känslig för elektrostatisk urladdning;
3. Elektromagnetiska vågor som alstras av elektrostatisk urladdning kan orsaka buller i elektroniska instrument och anordningar; 4. Luminecisen hos elektrostatisk urladdning kan orsaka skador på fotosensorerna som fotografiska lemmar; 5. Den mekaniska fenomenet statisk elektricitet kan orsaka nätet blockeras av damm och spinngarn Chaos, ojämn tryckdjup och produktförorening;
6. Den farligaste katastrofen som orsakas av elektrostatisk urladdning är den explosion som orsakas av brandkällan väl som blir brännbart. Till exempel, enligt utländsk litteraturstatistik, av 86.000 explosiva bedövningsmedel som används i operationssalen, orsakades 36 explosioner, varav 21 orsakades av statisk elektricitet. ; Statiska elektricitetsolyckor ligger huvudsakligen i generering och ackumulering av statisk elektricitet, och flödet av luftflöde, friktionen mellan luftflödet och röret, tuyeren, filtret, friktionen mellan människokroppen och kläderna, friktionen mellan kläderna, slipningen, besprutningen, jettingen etc. Verksamhet som tvätt, omrörning, bindning och peeling, som alla kan generera statisk elektricitet. I allmänhet, desto mindre ledningsförmåga av icke-ledare (isolator), desto svårare är det att flöda efter det att laddningen genereras, så lättare är det att laddas.
Problemet med statisk elektricitet är särskilt allvarligt i renrum, eftersom det finns många processfaktorer som genererar statisk elektricitet i renrummet, och många material i renrummet såsom plastgolv, yta, hals, och arbetskläder har hög motståndskraft. Det är mycket lätt att generera statisk elektricitet och ackumulera statisk elektricitet. Innan den statiska elektricitetskatastrofen i renrum inte togs på allvar, användes dessa material i stor utsträckning.