Grundläggande idéer och tekniska metoder för elektrostatiskt skydd
Elektrostatisk urladdning kan orsaka skada på enheten, men genom att ta lämpliga och lämpliga ESD-skydds- och kontrollåtgärder för att upprätta ett ESD-system kan ESD elimineras eller kontrolleras för att minimera skador på komponenter. Det finns två grundläggande idéer för elektrostatiskt skydd och kontroll av känsliga enheter:
1. (1) Förhindra ackumulering av statisk elektricitet på platser där jordning kan ske och vidta vissa åtgärder för att undvika eller minska förekomsten av elektrostatisk urladdning eller anta metoden att läcka under generering av sidan för att eliminera ackumulering av elektrisk laddning . Avgiften styrs i den mån det inte orsakar skada.
1. (2) Ackumulera den ackumulerade avgiften snabbt och tillförlitligt.
2.1 Processkontrollmetod
Designad för att producera så lite statisk laddning som möjligt under produktionsprocessen. För detta ändamål vidtas åtgärder från processflödesaspekter, materialval, utrustninginstallation och drifthantering för att styra generering och ackumulering av statisk elektricitet och för att undertrycka den elektrostatiska potentialen och elektrostatisk urladdningskapacitet för att inte överstiga graden av skada. Liksom i halvledarframställningsprocessen måste resistiviteten hos det avjoniserade vattnet för sköljning styras efter det att den höga hastighetsformningsprocessen för höghastighetsanordningen är fullbordad. Även desto högre resistivitet desto bättre rengöringseffekt, desto högre resistivitet desto högre är statisk elektricitet genererad på chipet. Därför styrs den i allmänhet på en nivå något högre än 8 MΩ, och kan inte vara 16-17 MΩ för den ursprungliga processen. Vid valet av material bör förpackningsmaterialen använda antistatiska material, försök att undvika obehandlade polymermaterial.
2.2 Läckage metod
Den är utformad för att eliminera statisk elektricitet genom läckage. Vanligtvis är elektrostatisk jordning läckage av elektrisk laddning till jorden; Det finns också ett sätt att öka objektets elektriska ledningsförmåga för att orsaka att marken läcker ut längs ytan eller insidan av föremålet, såsom att tillsätta ett elektrostatiskt medel eller öka fuktigheten. Det vanligaste är det antistatiska handledsbandet som bärs av personalen och den statiska grunden.
2.3 Elektrostatisk avskärmning
Enligt principen om elektrostatisk avskärmning kan den indelas i två typer: intern fältskärmning och yttre fältskärmning. Den specifika åtgärden är att isolera den laddade kroppen från andra föremål med ett jordat skärmskydd så att det elektriska fältet på den laddade kroppen inte påverkar andra omgivande föremål (inåt fältskydd). Ibland används det avskärmade skyddet för att omge det isolerade objektet, så att det skyddas mot yttre elektriska fält (utfieldskydd). Till exempel använder en GaAs-enhetspaket ett metallfall eller en metallfilm.
2.4 Föreningens neutraliseringsmetod
Det syftar till att eliminera den statiska laddningen genom komplex neutralisering. Användningen av en jordningseliminator för att producera ett komplex med en laddad jon på den laddade kroppen för att uppnå neutralisering. Generellt sett, när den laddade kroppen är en isolator, eftersom den elektriska laddningen inte kan strömma på isolatorn, kan jordningsmetoden inte användas för att läcka den elektriska laddningen. I detta fall måste en antistatisk eliminator användas för att generera de olika jonerna för att neutralisera. Denna metod används för att eliminera den elektrostatiska laddning som genereras på transportbandet.
2,5 rena åtgärder
Designad för att undvika intermittenta utsläpp. För detta ändamål ska ytan på den laddade kroppen och omgivande föremål hållas så jämn och ren som möjligt för att minska risken för intermittent urladdning.