Vad är risken med statisk elektricitet för IC-förpackningar
Vad är risken med statisk elektricitet för IC-förpackningar? Först och främst kan orsaken till statisk elektricitet ses överallt. Med den snabba utvecklingen av vetenskap och teknik och den höga graden av automatisering i industriproduktion är farorna med statisk elektricitet redan uppenbar. Det kan orsaka olika hinder, begränsa förbättringen av automatiseringsnivån och påverka produktkvaliteten. Här är de främsta orsakerna till generering av statisk elektricitet i kombination med vår fabriks faktiska situation i den integrerade kretsförpacknings- och produktionsprocessen.
1. Högmotståndsmaterial används mest för byggnads- och dekorationsmaterial i produktionsverkstäder
IC-produktionsprocessen kräver användning av ren verkstad eller ultraren verkstad. Partikelstorleken hos dammavlägsnande partiklar måste ändras från de tidigare 0,3 μm till 0,1 μm och densiteten hos dammpartiklar är cirka 353 partiklar / m3. För detta ändamål, förutom installationen av olika dammuppsamlingsutrustning, måste oorganiska och organiska dammfria material användas för att förhindra damm. Byggnadsmaterialens elektriska prestanda betraktas dock inte som en indikator. Det finns ingen bestämmelse i konstruktionsspecifikationerna för rena verkstäder för industriföretag. De inredningsmaterial som huvudsakligen används i IC-fabrikens rena verkstad är: elastiskt golv av polyuretan, nylon, hårdplast, polyeten, plasttapet, harts, trä, vit porslinsplatta, emalj, gips och så vidare. De flesta av de ovannämnda materialen är polymerföreningar eller isolatorer. Till exempel är resistiviteten hos plexiglaskroppen 1012 ~ 1014Ωcm och resistensen hos polyetenkroppen är 1013 ~ 1015ncm. Därför är konduktiviteten relativt dålig. Statisk elektricitet av någon anledning är inte lätt att läcka till jorden genom dem, vilket orsakar ackumulering av statisk elektricitet.
2, statisk elektricitet för människokroppen
De olika handlingarna och att gå fram och tillbaka för operatörerna i renrummet, sulorna på skorna och marken är ständigt i nära kontakt och separering, och olika delar av människokroppen är också aktiva och friktion. Oavsett om det är snabb gång, långsam gång eller trav, kommer statisk elektricitet att genereras, vilket är den så kallade gångavgiften; människokroppen står upp efter rörelse. , Arbetskläderna som bärs av människokroppen och stolytan är separerade efter kontakt med stolytan och statisk elektricitet kommer också att genereras. Om den elektrostatiska spänningen i människokroppen inte kan elimineras och IC-chipet berörs kan det orsaka IC-nedbrytning omedvetet.
3. Statisk elektricitet orsakad av luftkonditionering och luftrening
Eftersom IC-produktion kräver 45-55% RF, måste luftkonditionering genomföras och luftrening måste utföras samtidigt. Avfuktad luft skickas till renrummet genom primärfiltret, medeleffektivitetsfiltret, högeffektivfiltret och luftkanalen. Generellt är huvudluftkanalens vindhastighet 8 ~ 10m / s och luftkanalens innervägg är målad. När den torra luften och luftkanalen, den torra luften och filtret rör sig relativt varandra, genereras statisk elektricitet. Det bör noteras att statisk elektricitet är känsligare för fukt. Dessutom kommer transport av halvfabrikat och IC-produkter att generera statisk elektricitet under förpackning och transport, vilket är en av faktorerna för statisk elektricitet.
För det andra är statisk elektricitet mycket skadlig för IC. Generellt sett har statisk elektricitet egenskaperna med hög potential och starkt elektriskt fält. Under elektrostatisk laddning och urladdning bildas ibland övergående högströmningsurladdning och elektromagnetisk puls (EMP), vilket genererar elektromagnetiska strålningsfält med ett brett spektrum. Dessutom, jämfört med konventionell elektrisk energi, är elektrostatisk energi relativt liten. I den naturliga elektrifierings-urladdningsprocessen är parametrar för elektrostatisk urladdning (ESD) okontrollerbara, och det är en slumpmässig process som är svår att upprepa. Därför påverkas dess roll ofta av människor. Ignoreras. Speciellt inom området mikroelektronik är skadan som den orsakar oss förvånande. Enligt rapporter är den direkta ekonomiska förlusten orsakad av statisk elektricitet så hög som flera hundra miljoner yuan varje år. Skadorna på statisk elektricitet har blivit ett stort hinder för utvecklingen av mikroelektronikindustrin.
I halvledarproduktionsverkstaden kommer utbytet av IC: er, särskilt mycket storskaliga integrerade kretsar (VLSI), att reduceras kraftigt på grund av adsorptionen av damm på chipet. Operatörer i IC-produktionsverkstaden bär rena overall. Om människokroppen laddas med statisk elektricitet är det lätt att absorbera damm och smuts. Om detta damm och smuts förs till arbetsplatsen kommer det att påverka produktkvaliteten, försämra produktens prestanda och kraftigt minska Ic. Avkastning. Om radien på de adsorberade dammpartiklarna är större än 100 μm och linjebredden är cirka 100 μm, när filmtjockleken är under 50 μm, kommer produkten troligen att skrotas.