Statiska elbehov för rena rum
(1) Rent rum
Halvledare, plattskärmar av flytande kristaller, optoelektronik och biomedicin kräver alla rena produktionsverkstäder. I allmänhet avser rena rum rum eller begränsade utrymmen där koncentrationen av suspenderade luftpartiklar i utrymmet kontrolleras inom angivna gränser. Ju mindre det begränsade antalet partiklar är, desto högre renlighet.
(2) Statisk elektricitet i renrum
På grund av renlighetskraven i det rena rummet bör inomhusbruk
(1) Ett stort antal dekorativa material med hög isoleringsmedium, golv, väggar, dörrar, tak, skiljeväggar, arbetsbänkar, stolar etc. dessa material är lätta att elektrifieras och laddas av friktion och är inte lätta att läcka och släppa.
Plastgolv 500V ~1000V i fotoetsningsrum, 500V~1500V i diffusionsrum, 500V~1500V i klinkergolv, 700V för plast tapeter, OV ~1000V för plasttak, 500V ~3000V för metall rörlig läderstol yta.
(2)När människor bär rena overaller, skor, gång eller arbete kommer friktion med olika material, utrustning och utrustning att generera statisk elektricitet, och människor, kläder och skor kommer att laddas.
Människor som bär nylonkläder och gummismärkad plastskor går långsamt på det rena golvet, med statisk spänning på 7000V ~ 8000V på sina kroppar.
1200V (10%~20%RH), 250V (65%~90%RH) kan användas för promenader på vinylgolv, 35000V (10%~20%RH), 1500V (65%~90) kan användas för att gå på mattan %RH), chipmonteringslinjen, arbetskläderna som människor bär kan nå 10KV.
(3)Luftkonditioneringsluftens luftflöde passerar genom primäreffektfiltret, medeleffektfiltret och högeffektfiltret, och det renade utloppsluftflödet är elektrostatiskt laddat.
Aluminiumplatta lufttillförsel och returluftutlopp är 500 ~ 1000V.
(4) Ett stort antal isolerande utrustningar, utrustningar och verktyg är också viktiga källor till elektrostatisk laddning. Wafer montering produktionslinje: wafer lastbox 35KV, plexiglas täcker 8KV, kvarts produkt 1.5KV, wafer bricka 6KV, akryl lock 20KV, bordsskiva 10KV, plast förvaring skåp 30KV, glasfiber kristall laddning låda glider över polypropylen bordsskiva Med 10KV.
Kort sagt: ju högre renhetskrav i det rena rummet är, desto allvarligare är den elektrostatiska laddningen.