Risker med statisk elektricitet i renrum för mikroelektronik
Ökad statisk elektricitet kommer att minska kvaliteten på elektroniska produkter, elektromagnetisk störning kommer att avbryta driften av automatisk utrustning och elektrostatisk adsorption kommer att öka svårigheten att samla ytpartiklar, så det är också nödvändigt att kontrollera genereringen av statisk elektricitet. Eftersom elektrostatiska laddningar faktiskt lockar föroreningar till produkt- eller verktygsytor, blir elektrostatisk adsorption ett fokus för uppmärksamhet i renrum. Till exempel, när en 4-tums skiva laddas till 1KV, kommer adsorptionskraften för partiklar med en diameter på 1 mikron att nå 830,000 pund per kvadrattum. Därför kommer elektrostatisk adsorption mellan laddade föremål och partiklar att vara starkare än gravitation, aerodynamiska krafter och vidhäftningskrafter.
De huvudsakliga manifestationerna av risker för statisk elektricitet i rena verkstäder inom elektronikindustrin inkluderar:
1. Absorbera damm. På grund av elektrostatisk adsorption adsorberas luftpartiklar i renrum på ytorna av elektroniska komponenter och väggar, vilket påverkar produktkvalitet och renlighet. Statisk elektricitet har också blivit en ny dammkälla i rena rum.
2. Orsaka bränder och explosioner. En stor mängd brandfarliga och explosiva gaser, vätskor och organiska lösningsmedel används i renrum inom elektronikindustrin. Statisk elektricitet kan bli antändningskälla för dessa gaser (vätskor) och lösningsmedel, vilket kan orsaka bränder eller explosioner.
3. Coronaurladdning, eller gnisturladdning, avger buller och stör elektronisk utrustning och elektroniska komponenter.
4. Generera ett elektrostatiskt elektriskt fält som orsakar kortslutning, trötthet eller skada på elektroniska komponenter.
Av denna anledning är den ständiga förbättringen av tekniken inom mikroelektronikindustrin också en manifestation av den ständiga förbättringen av antistatisk teknik. Innehållet i elektrostatiska skyddssystem blir mer och mer rikligt. Utöver konventionella skyddssystem för personal (antistatiska kläder, antistatiska skor, antistatiska handledsremmar, etc.), Utöver hårdvaruskyddssystem som utrustning för att eliminera statisk elektricitet, är det som behöver läggas till mer etableringen av programvara för elektrostatiska skyddssystem.