Hur stort inflytande har jonfläkten på statisk elektricitet?
”Jonfläktar uppmärksammar ESD: s prestanda och föroreningskontroll av produkter och utrustning. Kläderna och materialen i renrummet * är tillverkade av statiska dissipativt material och kan jordas, säger RussMoulton, en ledande industri inom icke-kiselkristallindustrin.
Andra branscher, speciellt inom head drive-industrin, har använt antistatiska material för mer rena rum. Tidigare använde huvuddrivindustrin ESD-kontrollteknik endast för produktion av IC: er (chips, mikrochips). Men nu har fler industrier använt ESD-kontrollteknik.
På grund av inverkan av elektrostatisk urladdning (ESD) på precisionskretsar och diskar står elektronikindustrin inför enorma utmaningar. De kommer att förlora miljarder dollar varje år. En spänning på endast 5V kan skada små komponenter och spänningar mindre än 100V kan göra att hela den elektroniska kretsen skrotas.
I områden som berörs av ESD måste renrumschefer ta hänsyn till andelen fel och skador orsakade av ESD på produktionslinjen.
ESD-kontrollmaterial är emellertid benägna att förorenas - statiska spridningsmaterial är en viktig källa till dammpartiklar och kemisk förorening i rena rum. För att kontrollera ESD består föremålen i rena rum av statiska dissipativa material som förhindrar ESD och elektrostatisk attraktion. Att välja en antistatisk jonblåsare för ett rent rum är en stor utmaning. ESD-lösningar är emellertid mer komplexa än att hitta statiska dissipativa material.
Tillgänglig teknologi
I det rena rummet kan produkter som är utformade för statisk spridning: bomullspinnar, våtservetter, lim, trasa, väggmaterial, handledsband, handskar, arbetskläder etc. användas. Statiska dissipativa material kan emellertid också orsaka förorening, och många renrumsprodukter tillverkade av plast eller rostfritt stål kan samlas eller leda elektricitet.
Tillverkare av ESD-produkter har haft svårt att utveckla nya statiska dissipativa material. IC blir mindre och den elektrostatiska känsligheten ökar också. Under de senaste tre åren har många elektroniktillverkare börjat kräva mer jonfläkt ESD-produkter.
Att hitta rätt antistatiska råvaror är svårt. Masken är tillverkad av plast och har utmärkt slitstyrka, låg flyktighet och kemisk beständighet. Det är ett bra material för rena rum. Det är svårt att hitta transparenta råvaror. Tillsatser och sampolymerer gör materialet ogenomskinligt på grund av sammansättningen av olika brytningsindex. Dessutom måste plast ha god ytbeständighet.
Elektrostatisk adsorption
Dekontaminering blir svårare i rena rum på grund av närvaron av statisk elektricitet. Dammpartiklar är alltid lätta att hålla fast vid kiselskivan på grund av statisk elektricitet, vilket resulterar i produktskador och lägre utbyte.
Vårt stora problem är att hitta antistatiska material som är lämpliga för användning i rena rum. Inom LCD-industrin blir glasunderlaget större och förmågan att locka laddningar förbättras också. På grund av substratets stora storlek kan varje förorening resultera i en minskning av utbytet.
Liksom andra föroreningar har industrien LCD letat efter nya material som kan lösa ESD-problem. Material som används i rena rum är också mer benägna att använda antistatiska jonblåsare, och nya material kan provas på bomullspinnar och trasor istället för traditionella material.
Lämplig typ
Varför finns det inga lämpliga ESD-produkter i rena rum? Under de senaste tre till fem åren har tillverkarna insett att ESD-produkter behövs i rena rum när de tillhandahåller produkter till rena rum. Att hitta en ESD-produkt som kan användas i ett rent rum är emellertid ett problem. Eftersom prestandan för många ESD-produkter som används i rena rum inte är tillräckligt stabil.
Det stora problemet med ESD-kontroll i renrum är rörelserna för människor i rena rum. Eftersom människor bär mycket polyestertyg genererar de mycket elektrisk laddning. Det enda sättet att ta bort denna laddning i ett rent rum är att marka.
Under de senaste fem åren har det visat sig att ett plaggssystem tillverkat av en blandning av kolfiber och tyg ger krav på rena rum för ISO 5 (klass 100).
Varje del av plagget har samma elektriska ledningsförmåga och har en elektriskt ledande anslutning från huven till sulan. Personer som arbetar i ett rent rum kan gå igenom den ledande sulan utan jordning när de bär sådana kläder, så att de inte begränsas av marktrådens längd.
Framväxten av sådana arbetskläder är ett resultat av höga krav på produkten, vilket hjälper till att minska det låga utbytet och den höga dåliga hastigheten som orsakas av ESD-problem i rena rum.
Det finns ingen billig och snabb reparationsmetod för ESD-jonfläktkontroll. Nyckeln är att styra ESD, t.ex. en upphängd laminär flödesjonfläkt, eller installera en jonfläkt bredvid materialet som behöver kontrollera ESD. När storleken på chipet (IC) minskar blir det mer känsligt för ESD. Nu är kontrollen av ESD inte begränsad till skyddet av arbetsnätet, utan också kontrollen av skivan och den personal som producerar skivan. Många företag med hög standard kontrollerar ESD så här.